Synonymes de dépôt en phase vapeur

★ Synonymes

Dépôt physique en phase vapeur (PVD)

• pulvérisation cathodique
• évaporation sous vide
  Technique de dépôt sous vide par vaporisation d’une source, dont la matière se dépose et forme une couche mince sur le substrat.
• ablation laser pulsé
  ablation par des impulsions de faisceau laser
• dépôt par arc

Techniques hybrides ou spécifiques

• dépôt par couches atomiques
  ALD
• épitaxie par jets moléculaires
  MBE
• dépôt par plasma thermique

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