Synonymes de dépôt physique en phase vapeur

★ Synonymes

Dépôt par évaporation sous vide

• évaporation thermique
• évaporation par faisceau d'électrons
• évaporation par laser pulsé

Dépôt par pulvérisation cathodique

• pulvérisation magnétron
• pulvérisation ionique

Techniques hybrides ou avancées

• dépôt par arc cathodique
• dépôt par ablation laser
  Procédé de dépôt physique en phase vapeur utilisant l’ablation laser d’une cible pour déposer la matière éjectée sous forme de couche mince.
• dépôt ionique assisté
  IAD
• dépôt par jet moléculaire
  MBE

Synonymes génériques du procédé

• dépôt sous vide
  Technique de fabrication de couches minces par génération d’un flux atomique ou moléculaire qui se dépose sous vide sur le substrat.
• dépôt en couches minces
• métallisation sous vide
• pulvérisation sous vide
• dépôt par voie physique

Contexte d'application (couches minces)

• revêtement par pvd
• dépôt de couches minces
• dépôt par procédé physique

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