Synonymes de microsystème électromécanique
/mi.kʁo.sis.tɛ.m‿e.lɛk.tʁo.me.ka.nik/
- nom
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★ Synonymes
Sens général (dispositif miniaturisé combinant des composants mécaniques et électriques)
- système microélectromécanique
- Machine miniature.
- dispositif mems
- composant mems
Sens spécifique (technologie de fabrication en micro-électronique)
- technologie mems
- micro-fabrication mécanique
- micro-usinage de surface
- micro-usinage en volume
- lithographie profonde
Sens technique (capteur ou actionneur miniaturisé)
- micromoteur électrostatique
≡ Synonymes
Tous les sens
- microsystèmeAssemblage de dispositifs de taille micrométrique
- memsMicrosystème électromécanique