Synonymes de microsystème optoélectromécanique

★ Synonymes

Dispositif miniature intégrant des fonctions optiques, électriques et mécaniques sur une puce, souvent pour la manipulation de la lumière.

• système moems
• microsystème optique intégré
• puce optomécanique

Composant ou technologie issu de la micro-fabrication combinant optique et micromécanique (terme générique).

• microdispositif optique
• microactionneur optique
• microsystème photonique

Terme technique utilisé en ingénierie pour désigner un capteur ou un actionneur de très petite taille exploitant la lumière.

• microcapteur optique
• microinstrument optique
• dispositif microphotonique

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